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uniformityoffilmthickness相关论文
单一蒸发源膜厚分布的均匀性
基于非余弦膜厚计算公式,提出了利用极坐标简化表征膜厚分布的方法,对单源电子束蒸发的光学薄膜的膜厚均匀性控制进行了研究,同时......
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